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硅材料清洗用超純水處理設備
第一,硅材料清洗用超純水處理設備介紹
所謂的硅材料,一般包括單晶硅、多晶硅、太陽能硅片電池以及半導體用的硅材料,這些產品中含有微量的污染就會導致器件失效。清洗的雜質主要包括包括有機物和無機物。無論是那種雜質都會導致各種缺陷,因此,對于硅材料的清洗和必須使用超純水。硅材料清洗用超純水處理設備—LTLD是一套專門用于硅材料清洗的水處理設備,該設備采用先進的反滲透技術和EDI技術,EDI模塊的使用取代了傳統超純水設備混床的使用,制水效果更加明顯。
第二,超純水中雜質的污染源介紹
1、水源的影響
由于水是一種溶解能力很強的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2,還有膠體(包括硅膠和腐殖質膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質,包括粘土、砂石、細菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。
2、材料的影響
制備超純水的材料設備的材質都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質,同時還會帶來有機污染。
第三,硅材料清洗用超純水處理設備介紹
指采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備,用于制取超純水的機器,超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術出來的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,超純水無硬度,口感較甜,又常稱為去離子水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。超純水設備行業水質標準超純水水質分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
第四,硅材料清洗用超純水處理設備介紹
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